Brooks推出AMF超紧凑型质量流量控制器

Brooks Instrument 发布 AMF Series 超紧凑型质量流量控制器，重点面向空间受限但仍要求高性能气体流量控制的设备集成场景。

根据官方资料，该系列提供快速响应、1000:1 调节比和高级诊断功能，产品占用空间接近普通便签纸大小。紧凑化与宽量程能力的结合，有助于设备制造商缩小气路模块尺寸并提升工艺适应性。

对于实际选型，除了外形尺寸和满量程，还应结合入口压力、出口背压、阀门能力、响应时间和通信接口综合评估。