美国国家标准与技术研究院（NIST）发布 SLowFlowS 半导体低流量标准研究成果，面向半导体工艺气体质量流量计和质量流量控制器的标定需求。
该标准覆盖 0.01～1000 cm³/min 的标准状态流量范围，扩展不确定度约为流量读数的 0.056%～0.098%。研究目标是降低行业仅依靠氮气标定和简单气体修正系数所带来的误差，为危险或腐蚀性工艺气体建立更可靠的流量溯源基础。
对质量流量控制器选型而言，不同气体的密度、黏度、比热和导热系数都会影响测量结果，实际应用应结合气体种类、工作压力和标定条件确认修正方式。