大量程流量测量
满足大量程气体的连续质量流量测量需求，适用于工业设备和实验系统。
PRODUCT OVERVIEW
面向大量程气体工艺的流量测量平台
LumGem521 系列通过热式质量流量测量技术直接检测气体质量流量，减少温度和压力变化对体积流量换算造成的影响。
产品具有测量范围宽、精度高、重复性好和响应速度快等特点，并可根据设备需求配置数字通信、模拟输出、连接方式及密封材质。
PRODUCT FEATURES
大量程测量，稳定可靠输出
面向大量程气体工况，兼顾测量精度、响应速度与设备集成能力。高精度与高稳定性
测量精度可达 ±1.0% F.S，兼顾重复性和长期运行稳定性。
数模信号兼容
支持 RS232、RS485 以及 0–5 VDC、4–20 mA 等常用信号方式。
快速动态响应
响应时间可达 1 秒以内，可及时反映工艺气体流量变化。
工业级流路结构
采用 SS316 不锈钢本体，并可结合介质选择密封材质和连接方式。
易于设备集成
多种供电、通信与机械接口配置，便于接入 PLC、上位机及专用设备。
TECHNICAL DATA
技术参数
实际配置会因介质、量程、压力、密封材质、接头和信号方式而变化，请在订购前确认选型。- 产品系列
- LumGem521
- 产品类型
- 大量程气体质量流量计
- 流量范围
- 300–3000 slm
- 测量精度
- ±1.0% F.S
- 响应时间
- ≤1 sec
- 量程比
- 100:1
- 预热时间
- 10–15 min
- 工作温度
- 5–45℃
- 供电电源
- ±15 VDC / 24 VDC
- 数字通信
- RS232 / RS485（Modbus-RTU）
- 模拟信号
- 0–5 VDC / 4–20 mA
- 本体材质
- SS316 不锈钢
- 最大耐压
- 30 bar
- 连接方式
- 卡套 / VCR / 其他可选接口
- 密封材质
- 氟橡胶 / EPDM / 丁腈橡胶 / 其他
- 防护等级
- IP40
不同气体、量程及接口配置对应的精度、压力条件和机械尺寸可能不同，技术参数以最终选型规格书为准。
APPLICATIONS
典型应用
真空与镀膜设备
用于腔体供气、工艺气体输送及流量监测。
半导体工艺设备
适用于设备气路和自动化系统中的大量程气体测量。
化工与材料实验
用于反应气体配比、材料处理和实验装置集成。
能源动力测试
用于燃料电池、燃烧测试及气体供应测试平台。
SELECTION GUIDE
五项信息，完成初步选型
气体介质、流量、压力、机械接口和信号方式共同决定最终产品配置。- 01
确认气体介质
提供气体名称、组分、纯度，以及腐蚀性或洁净要求。
- 02
确认流量范围
提供满量程、常用工作点和期望的调节范围。
- 03
确认压力条件
提供入口压力、出口压力及可能出现的最大压差。
- 04
确认机械接口
确认接头形式、口径、密封材质和安装空间。
- 05
确认电气信号
确认供电、模拟输出以及 RS232 或 RS485 通信需求。
SELECTION SUPPORT