超大流量测控
最大满量程可达 3000 slm，适合大流量气体的连续测量与稳定控制。
PRODUCT OVERVIEW
面向大流量气体工艺的测量与控制平台
LumGem621 系列用于大流量气体的质量流量测量与闭环控制。产品直接响应质量流量，可减少温度、压力变化对体积流量换算带来的影响。
系列支持数字通信及常用模拟信号，可接入 PLC、上位机和设备控制系统；本体、密封、接头与量程可结合实际介质和工况配置。
PRODUCT FEATURES
超大流量，也能稳定精确控制
从测量性能、动态响应到系统接口，为大流量气体工艺提供可靠的集成基础。高精度与高稳定性
线性精度 ±0.5% F.S、重复精度 ±0.2% F.S，稳定性 ±0.1% F.S。
数模信号兼容
支持 RS232、RS485（Modbus-RTU）以及 0–5 VDC、4–20 mA 模拟信号。
快速动态响应
响应时间可达 1 秒以内，适合需要快速调节和稳定供气的设备工艺。
工业结构设计
采用 SS316 不锈钢本体，可根据介质选择密封材料、耐压等级和连接方式。
易于系统集成
支持多种供电、通信及模拟接口，可配合 PLC、上位机或专用控制系统使用。
TECHNICAL DATA
技术参数
实际配置会因介质、量程、压力、密封材质、接头和信号方式而变化，请在订购前确认选型。- 产品系列
- LumGem621
- 流量范围
- 300–3000 slm
- 测量精度
- ±1.0% F.S
- 线性精度
- ±0.5% F.S
- 重复精度
- ±0.2% F.S
- 稳定性
- ±0.1% F.S
- 响应时间
- ≤1 sec
- 量程比
- 100:1
- 预热时间
- 15 min
- 工作温度
- 5–45℃
- 温度系数
- ≤±0.1% F.S/℃
- 供电电源
- +15–24 VDC
- 信号接口
- RS232 / RS485 / 模拟信号
- 本体材质
- SS316 不锈钢
- 最大耐压
- 30 bar（可选 60 bar）
- 连接方式
- 卡套式连接，可选 VCR 或其他连接
- 密封材质
- 氟橡胶 / EPDM / 丁腈橡胶 / 其他
- 泄漏率
- <2×10⁻⁸ atm·ml/s（He）
- 防护等级
- IP40
不同量程、介质和阀门配置可能对应不同的压力条件、接头尺寸与性能指标，订购前需完成工况确认。
APPLICATIONS
典型应用
真空与镀膜设备
用于腔体进气、工艺气体供给及大流量稳定控制。
半导体工艺设备
适配设备气路、工艺气体输送及自动化控制系统。
化工与材料实验
用于反应气体配比、材料处理和实验装置集成。
能源动力测试
用于燃料电池、燃烧测试和气体供应测试平台。
SELECTION GUIDE
五项信息，完成初步选型
量程只是选型的一部分。介质、压力、接口和控制方式共同决定最终配置。- 01
确认气体介质
提供气体名称、组分、纯度，以及腐蚀性或特殊洁净要求。
- 02
确认流量范围
提供满量程、常用工作点和期望的调节范围。
- 03
确认压力条件
提供入口压力、出口压力及可能出现的最大压差。
- 04
确认机械接口
选择卡套、VCR 或其他接头，并确认安装空间。
- 05
确认电气控制
确认供电、模拟信号、RS232 或 RS485 通信需求。
SELECTION SUPPORT