微小流量测控
适用于洁净气体的小流量精密测量与控制。
PRODUCT OVERVIEW
支持 Profibus 的微小流量控制平台
LumGem721 采用热式质量流量测量原理，可实现洁净气体微小流量的连续测量和控制。
Profibus 接口便于多个仪表接入现场总线系统，适合自动化产线、工艺设备和集中控制平台。
PRODUCT FEATURES
面向现场总线的微小流量测控
Profibus 通信结合热式微小流量测量，适合工业网络和自动化设备集成。Profibus 组网
支持工业现场总线接入和多设备集中管理。
宽量程比
控制型 50:1，测量型 100:1。
快速响应
响应时间不高于 1 秒，适合动态工艺。
工业材质
SS316 本体，可选耐压、密封与连接方式。
自动化集成
适用于 PLC、DCS 和专用设备控制系统。
TECHNICAL DATA
技术参数
实际配置会因介质、量程、压力、密封材质、接头和信号方式而变化，请在订购前确认选型。- 产品系列
- LumGem721
- 流量范围
- 5 sccm–30 slm
- 测量精度
- ±1.0% F.S
- 量程比
- MFC 50:1 / MFM 100:1
- 响应时间
- ≤1 sec
- 重复精度
- ±0.2% F.S
- 线性精度
- ±0.5% F.S
- 数字通信
- Profibus（可选 RS485 Modbus-RTU）
- 供电电源
- +15–24 VDC
- 工作温度
- 5–45℃
- 本体材质
- SS316 不锈钢
- 最大耐压
- 30 bar（可选 60 / 100 bar）
- 连接方式
- 卡套 / VCR / 其他可选接口
- 泄漏率
- <2×10⁻⁸ atm·ml/s（He）
- 防护等级
- IP40
Profibus 地址、通信参数及设备描述文件请在项目选型时确认。
APPLICATIONS
典型应用
自动化工艺设备
用于现场总线控制的气体供给与流量调节。
半导体设备
适用于多气路设备、集中监控和自动配气系统。
真空与镀膜
用于腔体进气、工艺气体配比和状态监控。
实验测试平台
用于需要数字组网的科研和测试系统。
SELECTION GUIDE
现场总线项目选型要点
除常规气路参数外，还需确认网络拓扑、站点地址与通信要求。- 01
气体与量程
确认介质、满量程和常用工作点。
- 02
压力条件
提供入口压力、出口压力及最大压差。
- 03
机械接口
确认接头、口径、密封和安装方式。
- 04
总线配置
确认 Profibus 网络、站点数量及通信参数。
- 05
供电控制
确认电源、控制方式和上位系统接口。
SELECTION SUPPORT