微小流量测控
采用热式质量流量测量原理，适用于洁净气体的小流量测量与闭环控制。
PRODUCT OVERVIEW
面向小流量气体工艺的测量与控制
ST100A 系列采用热式质量流量测量技术，适用于洁净气体的小流量测量，并可通过调节阀实现稳定的闭环控制。
产品可接入实验设备、分析仪器和工业控制系统。实际量程、压力条件、接口和信号方式需结合具体工况确认。
PRODUCT FEATURES
精准掌控每一份微小气体流量
采用热式质量流量测量技术，面向洁净气体的小流量测量与闭环控制。高精度与高稳定性
精度可达 ±1.0% F.S，重复精度 ±0.2% F.S，满足连续工艺与实验测试需求。
模拟信号输入输出
支持 0–5 VDC 或 4–20 mA 信号，便于接入 PLC、数据采集和控制系统。
TECHNICAL DATA
技术参数
实际配置会因介质、量程、压力、密封材质、接头和信号方式而变化，请在订购前确认选型。- 产品系列
- ST100A
- 流量范围
- 5 sccm–30 slm
- 测量精度
- ±1.0% F.S
- 重复精度
- ±0.2% F.S
- 最大耐压
- 30 bar（气密 100 bar）
- 输出信号
- 0–5 VDC / 4–20 mA
- 工作温度
- 5–45℃
- 供电电源
- 15 VDC
不同介质、量程和阀门配置可能对应不同的压力、精度与接口条件，技术参数以最终确认的规格书为准。
APPLICATIONS
典型应用
分析仪器
用于分析设备的载气、反应气体和辅助气路流量控制。
真空与镀膜设备
用于腔体进气和工艺气体的连续测量与稳定供给。
半导体工艺设备
用于洁净气体输送、设备气路和自动化控制系统集成。
气体混配系统
用于多路气体的比例调节和稳定输出。
化工与材料实验
用于反应气体供给、材料处理和实验装置配套。
科研与教学
用于实验平台搭建、流量测试和控制原理验证。
SELECTION GUIDE
五项信息，完成初步选型
除流量范围外，介质、压力、接口和电气控制方式也会影响最终配置。- 01
确认气体介质
提供气体名称、组分、纯度，以及腐蚀性或洁净要求。
- 02
确认流量范围
提供满量程、常用工作点和需要覆盖的调节范围。
- 03
确认压力条件
提供入口压力、出口压力及可能出现的最大压差。
- 04
确认机械接口
确认接头规格、密封材质和设备安装空间。
- 05
确认电气控制
确认供电方式、输入输出信号及系统接入要求。
SELECTION SUPPORT