微小流量测控
适用于洁净气体的微小流量连续测量和稳定控制。
PRODUCT OVERVIEW
面向精密气路的微小流量测控平台
ST100D 采用热式质量流量测量原理，可减少温度和压力变化对体积流量换算造成的影响。
产品支持数字通信和模拟信号，可连接 PLC、上位机或二次仪表，用于设备气路、实验系统和工艺过程集成。
PRODUCT FEATURES
微小流量的数字化测量与控制
热式质量流量测量、数字通信与模拟信号兼容，适合精密气路和设备集成。数模信号兼容
支持 RS232、RS485、0–5 VDC 和 4–20 mA。
宽量程比
控制型量程比 50:1，测量型量程比 100:1。
快速响应
响应时间可达 1 秒以内，适合动态工艺调节。
工业结构
SS316 不锈钢本体，可选密封、耐压与接头配置。
易于集成
可接入 PLC、上位机、二次仪表和自动化设备。
TECHNICAL DATA
技术参数
实际配置会因介质、量程、压力、密封材质、接头和信号方式而变化，请在订购前确认选型。- 产品系列
- ST100D
- 流量范围
- 5 sccm–30 slm
- 测量精度
- ±1.0% F.S
- 量程比
- MFC 50:1 / MFM 100:1
- 响应时间
- ≤1 sec
- 重复精度
- ±0.2% F.S
- 线性精度
- ±0.5% F.S
- 供电电源
- +15–24 VDC
- 信号接口
- RS232 / RS485 / 0–5 VDC / 4–20 mA
- 工作温度
- 5–45℃
- 预热时间
- 15 min
- 本体材质
- SS316 不锈钢
- 最大耐压
- 30 bar（可选 60 bar）
- 连接方式
- 卡套 / VCR / 其他可选接口
- 防护等级
- IP40
参数会随气体、量程、压力、阀门和接口配置变化，以最终选型规格书为准。
APPLICATIONS
典型应用
分析仪器
用于载气、校准气和反应气体的小流量精密控制。
真空镀膜
用于真空腔体的工艺气体供给和稳定调节。
半导体设备
适用于设备气路与自动化工艺系统集成。
化工实验
用于反应气体配比、科研测试和实验装置。
SELECTION GUIDE
五项信息，完成初步选型
介质、量程、压力、机械接口和电气信号共同决定最终配置。- 01
气体介质
提供气体名称、组分、纯度及腐蚀性要求。
- 02
流量范围
提供满量程、常用工作点和调节范围。
- 03
压力条件
提供入口压力、出口压力和最大压差。
- 04
机械接口
确认接头形式、口径、密封材质和安装空间。
- 05
电气控制
确认供电、模拟信号和通信方式。
SELECTION SUPPORT